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氣體制冷機

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產品特點

產品典型應用 1、給芯片 、模塊 、集成電路板、電子元器件等提供精確且快速的環境溫度 2、替代液氮為局部熱源提供快速降溫 3、產品電性能 、 可靠性 、老化等測試提供冷源 4、需要提供干燥降溫的場合

詳細介紹


2.jpgPTLQ系列氣體制冷機用于氣體的降溫與冷卻,也可選擇進行升溫與恒溫控制。氣體通常為干燥的壓縮空氣或氮氣、金氣等惰性氣體。進氣溫度可以是常溫的,也可以是高溫的,經過氣體制冷機降至目標低溫。針對于晶圓測試載冷臺的應用來說,氣體制冷機相比較于傳統的液冷有諸多優勢,如使用方便、安全衛生、成本低無異味等。客戶可根據氣體處理流量及溫度來選擇設備,若樣冊無對應型號可聯系本公司銷售人員進行咨詢。

3.png典型應用領域
晶圓測試載冷臺提供低溫氣體
芯片低溫測試
激光設備局部區域降溫
液晶觸摸屏低溫冷凍脫膠
材料性能測試
熱沉實驗溫度控制
結晶系統控溫

產品特點
1、-135°C~+225C,可以滿足不同溫度的需求,可非標定制;2、可選配精確控溫形式,控溫精度可達0.1C;
3、采用高效換熱器,降溫速度快,常溫至-80°C最快只需5分鐘;4、可選配冷量回收裝置,提升能效,避免低溫冷凝水;
5、允許非標控制程序定制;
6、可選配進氣流量自動控制與檢測;
8、運行狀態實時顯示,故障信息自動診斷,多項報警保護功能;

9、自適應PID控制算法,無需改變參數,即可實現的溫度控制;

10、完善的安全保護措施,設置有多種安全保護機制以確保系統的安全運行:
11、質量保障。



設備名稱PTLQ系列氣體制冷機
制冷方式單機自復疊風冷
控制面板7英寸彩色觸摸屏, 中文顯示,操作簡便 、顯示直觀, 可顯示、 記錄溫度曲線和測試數據
氣體處理流量范圍100~500L/min(可定制)
流量調節方式比例閥PID自動調節
流量調節精度±0.5L~±2L/min
流量顯示分辨率0.1L/min
溫度范圍-100℃ ~RT(設備出口溫度)
溫度反饋PT100(進口溫度 、 出口溫度 、外部溫度 、排氣溫度)
控溫對象出口溫度
溫度&壓力顯示分辨率0.01℃、0.1bar
化霜方式手動開啟,熱氣化霜
氣體要求氮氣或0~5bar壓縮空氣:需干燥處理,露點溫度低于使用溫度。
通信協議MODBUS RTU 協議 RS 485接口,兼容TCP/IP協議
外部輸入外置測溫傳感器端口 、 USB數據接口
存儲功能試驗執行時,可實時顯示圖形曲線,顯示內容;溫度設定實際值, 執行程序周期,程序執行中具有跳文件,保持功能。
氣體接口尺寸10mm,卡套
設備電壓AC 380V/3~/50Hz

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