Qualifire 為 Zygo 激光干涉儀產品線帶來了這些嶄新的功能和改進:

• 智能附件接口—干涉儀可以自動識別安裝的“智能附件”，并自動加載應用系統誤差文件以及進行橫向校準。

• 體積小、重量輕 —Qualifire 系列中最小的型號重約 45 磅（20.4 千克）。 它是真正的便攜式設備，尤其適用于經常移動或調整干涉儀的復雜、精密應用需求中。

• 集成式移相器（PMR）—PMR 是在被測元件和參考光學元件之間調制干涉條紋所必需的，最終形成定量的面型圖。PMR集成式設計可提供： :

• 整體機械穩定性和校準

• 降低損壞和未對準的風險

• 確保性能一致，減少重新校準的需要

• 優化的用戶體驗 —更易于使用，有優化的電源按鈕和機械安裝支腳。更大的控制旋鈕可實現更精確的調整，這對于對準和校準都至關重要。 集成式的手柄確保操作安全可靠。

• 更便利的維修 —密封的光學系統和集成的電子元件使各種組件的更換變得簡單，而且光學元件不會暴露在污染物/灰塵環境中。

• 飛點模塊—用于減少偽影的可選模塊，包括自動對焦功能。

• 穩定變焦 —提供了一種嶄新的變焦方法，使得在所有放大倍率下均能實現良好的圖像配準和衍射限制下的圖像采樣。