Dimension FastScan Pro 提供當今工業(yè)界相當快速的掃描和豐富的性能測量。該系統(tǒng)支持全自動或半自動測量，同時具有易操作性以及滿足實現(xiàn)質量控制、質量保證和故障分析的低成本要求。

生產(chǎn)多功能性

FastScan Pro 利用開放性平臺、大樣品或多樣品平臺以及各種易用性功能，為工業(yè) QA、QC 和 FA 部門提供靈活的高性能納米級計量。該系統(tǒng)可用于半導體界、硬盤界、HB-LED業(yè)界 的 2 英寸至 12 英寸晶圓的自動測量。它具有增加的 XY 方向行程，可完全訪問 200mm 晶圓或直徑為 200 mm 的面積中的多個樣品中的多個區(qū)域，并配有 300 mm 晶圓的可選樣品臺。該系統(tǒng)還提供用于形貌、粗糙度和其他計量參數(shù)的分析。擁有可更換的高速FastScan 掃描頭以及具有 90μm 掃描范圍的 Icon 掃描頭（用于更大的掃描和高精度地形性能）。

強大的自動化軟件

AutoMET? 的測量流程軟件提供操作簡單、快速、全自動、以及關鍵的質量控制參數(shù)。該軟件允許在多個樣品或單個大型樣品上進行多點自動測量。它還提供光學和 AFM 圖型識別、探針針尖中心化、空白晶圓和圖形化后晶圓的測試，以及數(shù)十納米范圍內(nèi)的圖像位置對準精確度。全面而簡單的測量流程編寫使高級用戶在在線和離線軟件的應用中跟快捷、有效。

輕松創(chuàng)建測量流程，使工程師能夠按名稱定義測量位置、以及測量方式和每個位置的測量次數(shù)

流程測試窗口，顯示基于晶圓的分布，用于精確定義X-Y 測量位置。

精確控制探針于樣品之間相互作用

獨特的原子力顯微鏡技術可以控制探針和樣品之間任何一點的范德華力。這種精確的探針和樣品之間的力控制允許將機器用在廣泛的樣品類型上，從軟聚合物、薄膜和電氣樣品到硬材料。它還提供最 低的可用于成像的力，探針壽命超過數(shù)百次掃描和數(shù)據(jù)收集。

Dimension FastScan Pro 擁有精確控制探針于樣品的相互作用的能力，適用于各種樣品類型，從軟聚合物、薄膜和電學樣品到非常堅硬的材料都可以進行掃描。