FT-333普通四探針方阻電阻率測試儀

一. 描述：

采用范德堡測量原理能解決樣品因幾何尺寸、邊界效應、探針不等距和機械游移等外部因素對測量結果的影響及誤差，提供通訊接口，PC軟件數據處理及數據分析.中文或英文語言版本.

FT-333普通四探針方阻電阻率測試儀
二.參照標準：

硅片電阻率測量的標準（ASTM F84）及國家標準設計制造；GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.

FT-333普通四探針方阻電阻率測試儀
三.適用范圍：

適用于生產企業、高等院校、科研部門，是檢驗和分析半導體材料質量的工具；液晶顯示，自動測量和系數補償，并帶有溫度補償功能，自動轉換量程；采用AD芯片控制，恒流輸出，選配：PC軟件，保存和打印數據，生成報表

用于：覆蓋膜;導電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、導電窗膜 導電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉、燒結、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導體材料、薄膜材料方阻測試等相關產品

四. 型號及參數

規格型 FT-333

1.方塊電阻范圍  10-3～2×105Ω/□

2.電阻率范圍  10-4～2×106Ω-cm

測試電流范圍  0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA

4.電流精度 ±0.2%

5.電阻精度  ≤0.3%

6.顯示讀數 液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率

7.測試方式 普通單電測量

8.工作電源 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W

9.誤差 ≤4%（標準樣片結果）

10.選購功能 選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺；5.標準電阻

11.測試探頭 探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規格; 探針材質選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針