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基恩士 形狀測量激光顯微系統 VK-X3000 系列

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產品特點

一臺即可測量納米/ 微米/ 毫米
一臺即可了解希望獲取的信息
Z高分辨率0.01 nm

詳細介紹


產品介紹:

搭載白光干涉功能
納米/微米/毫米一臺即可完成測量

超越激光顯微鏡的限制,以三重掃描方式應對

  • 一臺即可測量納米/ 微米/ 毫米

  • 一臺即可了解希望獲取的信息

  • 最 高分辨率0.01 nm


采用了三重掃描方式,運用激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理,高倍率和低倍率,平面、凹凸表面的細微粗糙度,以及鏡面體,透明體等。VK擁有應對多種樣品的測量能力(從 1 nm 到 50 mm),納米/微米/毫米一臺完成測量。


產品特性

Basic Characteristics

觀察

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從光學顯微鏡到SEM領域一臺設備涵蓋

  • 42 至 28800 倍

  • 無需對焦

  • 適用于多種樣品

測量


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非接觸瞬間掃描形狀

  • 不會損傷目標物

  • 納米級別也可準確測量

  • 透明體和坡度大的目標物也可測量

分析


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希望了解的表面“差異”一目了然

  • 定量化微小形狀

  • 輕松比較多個樣品

  • 粗糙度分析


三重掃描方式
解決“難以測量”的難題


image.png


可根據樣品工件的材料、形狀和測量范圍,選擇激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理,進行高精度測量。


最高分辨率0.01 nm


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即使是納米級的微小形狀變化也能準確測量。
此外,如鏡面體、透明體等測量難度高的材料也能實現高速、高精度、大范圍的測量。


連高度差較大的凹凸處
和大范圍區域也能測量


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最 大掃描區域50 mm見方。
凹凸不平或手掌大小的物體也能整體掃描。
只需一臺設備,即可同時掌握整體形狀和局部形狀。


精確測量高倍率和低倍率。平面和凹凸面。

適用于各種目標物的測量能力



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