主要特點

• 表征納米材料的*佳解決方案
  TESCAN 專利的 Triglav?型 SEM 鏡筒具有三物鏡系統(tǒng) TriLens? ，與同類設(shè)備相比功能更多樣化。UH-resolution 物鏡提供的超高分辨率非常適合于形貌細節(jié)觀察，使研究人員能夠更好的分析納米級樣品。全新的高分辨 Analytical 物鏡可實現(xiàn)無漏磁成像，是磁性樣品觀察和分析（EDS, EBSD）的理想選擇。第三個物鏡可以實現(xiàn)多種模式觀測，并對束斑形狀進行優(yōu)化，進而改善成像和分析性能。

• 可以獲得不同襯度圖像，最大程度洞察樣品
  TESCAN MAGNA 配備 TriBE? 探測器系統(tǒng)：包含三個背散射電子探測器，可以根據(jù)角度和能量的差異選擇性地收集信號，Mid-Angle BSE 和 In-Beam f-BSE 探測器位于鏡筒內(nèi)，可以接收中角度和軸向的背散射電子，而樣品室內(nèi)背散射電子探測器則用于接收廣角背散射電子。同時，MAGNA 還配備 TriSE? 探測器系統(tǒng)：共有三個二次電子探測器，可在所有工作模式下以最佳方式獲取二次電子：In-Beam SE 探測器可以在非常短的工作距離下接收二次電子；SE（BDM）為電子束減速模式下的二次電子探測器可以提供最佳的分辨率；樣品室內(nèi)的二次電子探測器則能提供最佳形貌襯度的圖像。

• 更加優(yōu)秀的成像能力
  新一代 Triglav? 鏡筒中的鏡筒內(nèi)探測器系統(tǒng)經(jīng)過進一步優(yōu)化，信號檢測效率提高了三倍以上。此外，該系統(tǒng)還擴展了檢測能力，能夠采集能量過濾后的軸向背散射電子信號，這樣就可以通過選擇性地收集低損耗背散射電子來獲得更好的襯度和表面靈敏度。

TESCAN MAGNA SEM