放大倍率

30x~150,000x 

加速電壓

5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step)

圖像檢測

二次電子圖像

背散射電子圖像(選配)

觀察模式

Standard Mode

電子槍系統

燈絲類型

預對中鎢燈絲

偏壓系統

自動偏壓方式

電子槍校正

手動方式

透鏡構成

聚光鏡

2段式磁線圈透鏡

物鏡

1段式磁線圈透鏡

探測器類型

E-T Detector

載物臺系統

載物臺移動

5軸操控

圖像偏移

Image shift X, Y Image Shift (±150um)

樣品尺寸

高度35mm時直徑80mm，

圖像掃描

快速掃描

低速掃描

圖片模式

圖片模式

圖片模式

自動功能

自動啟動、自動聚焦、自動亮度對比度調節

圖像存

儲格式

BMP, JPEG, PNG,TIFF

數據顯示

放大倍率，探測器類型，電壓，真空模式，Logo，

Date and time，Text marker，比例尺等

真空系統

全自動型/高真空模式+低真空模式（旋轉式機械泵）（渦輪式分子泵）抽真空時間：3分鐘以內

操控系統

鼠標和鍵盤

電腦配置

PC：臺式電腦
OS : Microsoft Windows 7
CPU : Intel CoreTM i5 or High version
Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version

USB 2.0

軟件

圖像文件打開，編輯，存儲功能長度，面積，角度等測量功能
設置數值初始化，圖像拍攝模式轉換，Archives, Setting(EDS)模式等

體積

設備主機-410(W)×350(D)×600(H)mm……1set

控制主機-410(W)×290(D)×520(H)mm……1set
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set

重量

98kg

設備環境

溫度：15℃~30℃
濕度：70% or less
電源：100~240V AC, 1KW, 50/60Hz