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產品詳情：

規格

型號				VR-6200
類型				工作頭
控制器				VR-6000
觀察視野	低倍（大視野）	15 英寸顯示器上的倍率 12×	橫向	24.0 mm
			縱向	18.0 mm
		15 英寸顯示器上的倍率 25×	橫向	12.0 mm
			縱向	9.0 mm
		15 英寸顯示器上的倍率 38×	橫向	8.0 mm
			縱向	6.0 mm
		15 英寸顯示器上的倍率 50×	橫向
			縱向	4.5 mm
	高倍（高分辨率）	15 英寸顯示器上的倍率 40×	橫向	7.6 mm
			縱向	5.7 mm
		15 英寸顯示器上的倍率 80×	橫向	3.8 mm
			縱向	2.9 mm
		15 英寸顯示器上的倍率 120×	橫向	2.5 mm
			縱向	1.9 mm
		15 英寸顯示器上的倍率 160×	橫向
			縱向	1.4 mm
變焦				1 至4 倍
高度測量	顯示分辨率			0.1 μm
	高度測量范圍	無Z 連接		低倍（大視野）: 10 mm 高倍（高分辨率）: 1 mm
		有Z 連接		低倍（大視野）: 50 mm 高倍（高分辨率）: 30 mm
	重復精度 σ	無Z 連接		0.4 μm *1
		有Z 連接		1.0 μm *1
	正確性	無Z 連接		±2.5 μm *1
		有Z 連接		±4.0 μm *1
寬度測量	重復精度σ			低倍（大視野）: 1 μm 高倍（高分辨率）: 0.5 μm *1
	正確性			低倍（大視野）: ±5 μm 高倍（高分辨率）: ±2 μm *1
圖像拼接功能				全自動測量（XY 自動控制+Z 自動控制、θ 自動控制）、自動創建MAP 圖像、自動設定區域 *2
圖像拼接功能	電動旋轉單元			支持 *2
XY 可測量范圍				300 × 150 mm *2
載物臺	XY 行程			278 × 134 mm（電動）
	Z 行程			69 mm（電動）
	承受負重			4.5 kg
動作距離				75 mm
拍攝元件				1 英寸400 萬像素單色CMOS
投光鏡頭				雙遠心鏡頭×2
受光鏡頭				雙遠心鏡頭
照明系統	觀察用光源			LED 環形照明（紅、藍、綠）
	測量用光源			白色LED
數據處理部				基恩士指定專用電腦（操作系統為Windows 10 Pro）
電源	電源電壓			AC100 ～ 240 V ±10％ 50/60 Hz
	消耗功率			200 VA 以下
環境抗耐性	環境溫度			＋ 15 ～ 30℃
	相對濕度			20 至80%RH（無凝結）
重量				約28 kg *3
1 使用基恩士規定的基準規、以基恩士規定的測量模式進行測量時的數值（環境溫度23 ±1℃） 2 需要使用測量功能擴展模塊（VR-H4J） *3 測量部單體的重量約為11kg

產品尺寸

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