樣式1

樣式2

樣式3

功能

可測量晶棒的端面和柱面，也可以測量晶片。

帶有六方型刻度貼片板，可測量晶片端面

可測量晶片參考邊

被測晶體尺寸

2-6寸晶棒、長度L≤320mm，2-6寸晶片。

2-6寸晶棒、長度L≤100mm，2-6寸晶片。

2-6寸晶片。

工作臺圖片

配套夾具

①V型夾具（測量晶棒端面時使用）

②底板（測量有參考面的晶棒端面時使用）

無需夾具

無需夾具

工作臺：以上是常見工作臺，可根據客戶需要，任選以上2種樣品臺進行組合，也可以雙側一樣，還可以根據被測的晶體尺寸，及晶體被測方位來特殊設計。

型 號

DX-7B

DX-7BG

設備精度

設備綜合精度為±30″

（以供方提供的標準石英片10ī1面測量）

設備綜合精度為±15″

（以供方提供的標準石英片10ī1面測量）

最小讀數

10″

儀器配置

DX-7B和DX-7BG型X射線單晶定向儀由機臺、管套及各種機械附件組成的機械部分；由穩壓器、控制器、高壓變壓器、放大器、計數器、風冷電機、X射線管及各種指示儀表組成的電氣部分構成。

技術指標

（1）X射線發生器部分：

X射線管：銅靶，風扇冷卻，陽極接地。

ZD管電壓：30KVP，全壓合閘。

管電流：0—5mA 連續可調，使用2.0mA以上，有可能損壞X光管并加大輻射危害。

（2）輸入電源：單相交流220V，50Hz，整機總耗電功率不大于0.3 KW 。

（3）角度測量范圍：

2θ角：－10～+110° θ角:-5～+55°。

衍射方式

單衍射

雙衍射

放大系統

傳統放大器

新型放大器

接收系統

計數管計數率為104/秒

計數管計數率為108/秒

（是普通系列的1萬倍）

接收器壽命

1年

3年以上

X光管壽命

按照國家標準400小時

（X光管可以使用3-4個月）

是正常使用狀況下的2-3倍

（X光管至少可以使用一年）

X管電流強度

1-1.5mA

0.5-1.0mA

測量和使用效果

X光管使用2-3個月有可能出現多個假峰，影響準確度。需要經常更換X光管，影響生產效率。

可以濾掉X光管的雜峰，不存在假峰現象。X光管可以使用1年左右，不需要頻繁調整機器。

精度

精度±30秒（或±0.008度）

精度±15秒（或±0.004度）

輻射

測量時使用 mA量越來越大，射線輻射量較大。

測量時使用 mA量小，射線輻射量較小。