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瑞士Powatec 12寸晶圓貼片機

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瑞士POWATEC公司P-300 型晶圓貼片機允許在單程中將薄膜粘合到晶圓/基板和框架上。在安裝過程中,晶圓通過真空保持在抗靜電玻璃料(碳)上。這種玻璃料在粘附過程中保護晶片表面并吸收任何污垢顆粒。使用橡膠輥,箔安裝無氣泡。使用切割裝置,薄膜在框架上被切割并被薄膜卷的橫向直徑分開。

主要特點:

  • 將膠帶和晶圓一次性安裝到框架上,最大 300 毫米

  • 可以處理矩形基板、晶圓片以及凸塊晶圓

  • 可加工厚度達 30 μ 的晶圓

  • 快速輕松地轉換為不同的晶圓、框架和箔片類型

  • 緊湊、堅固的桌面設計

  • 安裝和啟動時間短

  • 運營成本低

  • UPH,安裝晶圓/小時高達 80 片

選項:

  • 膠片框架轉換套件 8"

  • 保護膠帶卷繞機的自動卷繞裝置 

  • 靜電荷主動保護 (ASB)

  • 帶儲物空間的桌子,適用于潔凈室

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