普賽斯PMST功率半導(dǎo)體測(cè)試機(jī)igbt檢測(cè)儀單管and模塊，主要包括測(cè)試主機(jī)、測(cè)試夾具、工控機(jī)、上位機(jī)軟件等構(gòu)成。整套系統(tǒng)采用普賽斯自主開發(fā)的測(cè)試主機(jī)，內(nèi)置多種規(guī)格電壓、電流、電容測(cè)量單元模塊。結(jié)合專用上位機(jī)測(cè)試軟件，可根據(jù)測(cè)試項(xiàng)目需要，設(shè)置不同的電壓、電流等參數(shù)，以滿足不同測(cè)試需求。測(cè)試數(shù)據(jù)可保存與導(dǎo)出，并可生成I-V以及C-V特性曲線。此外，測(cè)試主機(jī)可與探針臺(tái)搭配使用，實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)芯片測(cè)試；也可與熱流儀、溫控模塊等搭配使用，滿足高低溫測(cè)試需求。 測(cè)試主機(jī)內(nèi)部采用的電壓、電流測(cè)量單元，均采用多量程設(shè)計(jì)，測(cè)試精度為0.1%。其中，柵極-發(fā)射極，蕞大支持30V@10A脈沖電流輸出與測(cè)試，可測(cè)試低至pA級(jí)漏電流；集電極-發(fā)射極，蕞大支持6000A高速脈沖電流，典型上升時(shí)間為15μs，且具備電壓高速同步采樣功能；蕞高支持3500V電壓輸出，蕞高擴(kuò)展到12kV，且自帶漏電流測(cè)量功能。系統(tǒng)標(biāo)配C-V測(cè)試功能，支持Ciss/Coss/Crss參數(shù)及曲線測(cè)試，頻率默認(rèn)1MHz，可擴(kuò)展至10MHz