大排氣速度[L/min] *2

1,660

3,000

5,000

10,000

20,000

30,000

50,000

極限真空度 [Pa] *2

3.0

5.0

0.5

電源電壓(50/60Hz)

3Phase AC200～220V *3

電力消耗[kW] *4

0.7

1.0

0.9

0.95

1.4

1.5

1.6

尺寸 [mm] L×W×H *5

630×350×360

715×360×408

630×350×520

870×380×751

1000×450×950

重量 [kg]

70

130

110

130

280

410

410