UNICORN α200系列低頻消磁系統(tǒng)(EMI Canceling System,又稱消磁器), 是在 G3000系列基礎上研發(fā)的產(chǎn)品, 采用高精度純直流測量/反饋 /控制電路, 適用于改善 300Hz 以下的低頻電磁干擾環(huán)境。
本特別適用于各種電子顯微鏡、光刻機的改善環(huán)境磁場,消除低頻電磁干擾。
系統(tǒng)特點
●針對 50Hz 工頻磁場有大約 38dB 的衰減率。
●測量及顯示部分由單片機控制, 直接檢測及顯示短時峰峰值( 即 p-p 值,間隔約為 2 秒)。
●關鍵部件(如電源變壓器、穩(wěn)壓電路、功率 PID 等)均依照深度冗余原則標準設計,確保系統(tǒng)可以長時間連續(xù)工作。
●為保證快速響應,全部閉環(huán)檢測/控制回路均為純直流模塊構成。
●組合一體化三軸磁場探測器即可捆扎固定在直徑 10~300 毫米的垂直管狀體上,又可以直立放置在任何不易跌落的平面上。
●由 3/6 個平面消磁線圈構成均衡三維反相消磁空間( 為獲得zui好的場強均勻度, 應使得線圈包圍空間盡量大,一般約為 60~200m
技術參數(shù)指標
低磁場強度: 0.05mGauss p-p
消磁性能: 1~4mGauss p-p 時 0.05~0.20mGauss p-p
4~8mGauss p-p 時 0.20~0.60mGauss p-p
8~12mGauss p-p 時 0.6~1.1mGauss p-p
( 以上均為靠近探測器處數(shù)據(jù))
有效工作距離:大于 6 米
場強均衡性:大于 4.5 米
系統(tǒng)能耗:一般工況小于 8W,不超過 20W( 單相 220V)
消磁線圈: 14 芯三線圈或六線圈,標準長度分別為 14m、 16m、 18m,
控制器重量: 4kg
探測器重量: 0.7 kg
消磁線圈重量: 3.5kg(標準三線圈)或 7 kg(標準六線圈)
自動功率/電流限制功能:環(huán)境磁場大于20mGuass,自動限制消磁電流,依舊具備消磁效果
實際消磁效果對比( 200kx)消磁前(左)VS消磁后(右)
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UNICORN α500 低頻消磁系統(tǒng)(EMICancelingSystem,又稱消磁器),DC與AC雙模式主動消磁器,采用高精度純直流測量/反饋/控制電路,適用于改善1000H以下的低頻電磁干擾環(huán)境。特別適用于各種電子顯微鏡、光刻機的環(huán)境磁場改善,消除低頻電磁干擾。
KURATECA HS華山系列被動式減震臺采用:半膜片式空氣彈簧、整體焊接支架、鐵磁不銹鋼臺面(同OTP臺面)的氣浮隔振光學平臺,整體高度800mm,分為氣浮式支架和臺面兩部分。平臺自帶腳輪,方便移動和調整。這款產(chǎn)品剛性強、穩(wěn)定性好、隔振效果好、性價比高,適合于對隔振要求較高的環(huán)境使用。
KLA iNano 納米壓痕儀可輕松測量薄膜、涂層和少量材料。該儀器準確、靈活,并且用戶友好,可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級測試等多種納米級機械測試。該儀器的力荷載和位移測量動態(tài)范圍很大,因而可以實現(xiàn)從軟聚合物到金屬材料可重復測試。模塊化選項適用于各種應用:材料性質分布、特定頻率測試、刮擦和磨損以及高溫測試。KLA iNano 納米壓痕儀提供了一整套測試擴展選項,包括樣品加熱、連續(xù)剛度測量、
KLA iMicro 納米壓痕儀可輕松測量硬涂層,薄膜和少量材料。該儀器準確、靈活,并且用戶友好,可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級測試等多種納米級機械測試。可互換的驅動器能夠提供大的動態(tài)范圍的力荷載和位移,使研究人員能夠對軟聚合物到硬質金屬和陶瓷等材料做出詳盡及可重復的測試。模塊化選項適用于各種應用:材料性質分布、特定頻率測試、刮擦和磨損測試以及高溫測試。
KURATECA EST-58-450 桌上型主動式隔振臺來自日本馬自達集團下全資子公司KURATECA,是一塊靈活易用的桌上型主動隔振臺,通過針對低頻振動進行補償,實現(xiàn)全頻段隔振。采用6自由度控制,自適應調節(jié)地基振動前饋,大幅降低多方向振動傳遞。顯著提升精密儀器(如透射電鏡、光刻機)的測量穩(wěn)定性。
KURATECA LS-400 主動式防震臺為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供主動隔振性能(從0.5Hz開始)。KURATECA LS-400 主動式防震臺廣泛用于蔡司、萊卡、日立、日本電子等品牌的大型電子顯微鏡隔振,以及半導體設備、大型干擾儀、電子天平精密設備隔振。LS-400主動式防震臺通過抵消干擾測量破壞性的低頻振動噪聲,幫助用戶從儀器中獲得更多信息。
KURATECA LS-800 主動式防震臺為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供主動隔振性能(從0.5Hz開始)。KURATECA LS-800 主動式防震臺通過抵消干擾測量的破壞性低頻振動噪聲,幫助用戶從顯微鏡中獲得更多信息。采用了超薄型和模塊化設計,簡化了安裝過程,從而在安裝時不需要專用的起重設備(這個方案適合絕大數(shù)的SEM)
KURATECA LS-1200 主動式防震臺為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供主動隔振性能(從0.5Hz開始)。KURATECA LS-1200 在LS-800的基礎上通過增加隔振模塊的數(shù)量可以加大系統(tǒng)的承重。廣泛用于蔡司、萊卡、日立、日本電子等品牌的大型電子顯微隔振,以及半導體設備、大型干擾儀、電子天平精密設備隔振。