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掃描電子顯微鏡的主要性能
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本文由 上海西努光學科技有限公司 整理匯編
2019-01-02 15:49 935閱讀次數
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掃描電子顯微鏡是高性能、功能強大的高分辨應用型掃描電子顯微鏡。掃描電子顯微鏡用于材料領域,用于生命科學領域。掃描電子顯微鏡采用多接口的大樣品室和藝術級的物鏡設計,提供高低真空成像功能,可對各種材料表面作分析,并且具有業界領先的X射線分析技術。革命性的的設計,確保在低電壓條件下提供高分辨率的銳利圖像,同時還可以進行準確的能譜分析。樣品臺為五軸全自動控制。標準的GX率無油渦輪分子泵能夠滿足快速的樣品更換和無污染(免維護)成像分析。
掃描電子顯微鏡廣泛地應用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機械加工)和非金屬材料(化學、化工、石油、地質礦物學、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗和研究。在材料科學研究、金屬材料、陶瓷材料、半導體材料、化學材料等領域進行材料的微觀形貌、組織、成分分析,各種材料的形貌組織觀察,材料斷口分析和失效分析,材料實時微區成分分析,元素定量、定性成分分析,掃描電子顯微鏡快速的多元素面掃描和線掃描分布測量,晶體、晶粒的相鑒定,晶粒尺寸、形狀分析,晶體、晶粒取向測量。
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掃描電子顯微鏡的主要性能
- 掃描電子顯微鏡是高性能、功能強大的高分辨應用型掃描電子顯微鏡。掃描電子顯微鏡用于材料領域,用于生命科學領域。掃描電子顯微鏡采用多接口的大樣品室和藝術級的物鏡設計,提供高低真空成像功能,可對各種材料表面作分析,并且具有業界領先的X射線分析技術。革命性的的設計,確保在低電壓條件下提供高分辨率的銳利圖像,同時還可以進行準確的能譜分析。樣品臺為五軸全自動控制。標準的GX率無油渦輪分子泵能夠滿足快速的樣品更換和無污染(免維護)成像分析。
掃描電子顯微鏡廣泛地應用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機械加工)和非金屬材料(化學、化工、石油、地質礦物學、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗和研究。在材料科學研究、金屬材料、陶瓷材料、半導體材料、化學材料等領域進行材料的微觀形貌、組織、成分分析,各種材料的形貌組織觀察,材料斷口分析和失效分析,材料實時微區成分分析,元素定量、定性成分分析,掃描電子顯微鏡快速的多元素面掃描和線掃描分布測量,晶體、晶粒的相鑒定,晶粒尺寸、形狀分析,晶體、晶粒取向測量。[詳細]
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掃描電子顯微鏡的工作原理講解
- 工作原理:
掃描電子顯微鏡由電子槍發射出電子束(直徑約50um),在加速電壓的作用下經過磁透鏡系統匯聚,形成直徑為5 nm的電子束,聚焦在樣品表面上,在第二聚光鏡和物鏡之間偏轉線圈的作用下,電子束在樣品上做光柵狀掃描,電子和樣品相互作用產生信號電子。這些信號電子經探測器收集并轉換為光子,再經過電信號放大器加以放大處理,成像在顯示系統上。
試樣可為塊狀或粉末顆粒,成像信號可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。其中二次電子是主要的成像信號。由電子槍發射的能量為5~35keV的電子,以其交叉斑作為電子源,經二級聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定束流強度和束斑直徑的微細電子束,在掃描線圈驅動下,于試樣表面按一定時間、空間順序做柵網式掃描。聚焦電子束與試樣相互作用,產生二次電子發射(以及其他物理信號),二次電子發射量隨試樣表面形貌而變化。二次電子信號被探測器收集轉換成電信號,經視頻放大后輸入到顯像管柵極,調制與入射電子束同步掃描的顯像管亮度,掃描電子顯微鏡得到反應試樣表面形貌的二次電子像。[詳細]
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2019-02-22 09:08
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日立掃描電子顯微鏡的現狀分析
- 日立掃描電子顯微鏡是一臺場發射掃描電子顯微鏡,采用冷陰極場發射槍、高真空和精密的數字技術,可進行顯微結構的高分辨率、高質量成像。本系統裝配錐形場發射槍和物鏡,可以在任何掃描速度下進行高分辨率的成像以及高質量的實時圖像顯示,使您即使在明亮的房間里也可觀察和記錄清晰的圖像,可以處理直徑Zda為8英寸的樣品。
日立掃描電子顯微鏡是智能計算機掃描電子顯微鏡,保證了與未來計算機技術的兼容性。它的圖形用戶界面可以控制條件設置、樣品臺馬達驅動、成像和數據存檔,確保操作穩定可靠。系統的主計算機采用了高級網絡技術的Window? 2000,方便于從成像到數據處理的整個過程,使操作人員可以顯示實時圖像、通過網絡將數據保存到外接電腦、檢索和管理數據。[詳細]
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掃描電子顯微鏡的功能及用途說明
- 掃描電子顯微鏡主要由七大系統組成,即電子光學系統、信號探測處理和顯示系統、圖像記錄系統、樣品室、真空系統、冷卻循環水系統、電源供給系統。制樣簡單、放大倍數可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實的三維效應等,對于導電材料,可直接放入樣品室進行分析,對于導電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導電層。
具體功能用途歸納如下:
1、掃描電鏡追求固體物質高分辨的形貌,形態圖像-形貌分析(表面幾何形態,形狀,尺寸);
2、顯示化學成分的空間變化,基于化學成分的相鑒定-化學成分像分布,微區化學成分分析;
3、利用背散射電子衍射信號對樣品物質進行晶體結構(原子在晶體中的排列方式),晶體取向分布分析,基于晶體結構的相鑒定。
4、掃描電子顯微鏡在半導體器件研究中的特殊應用:
1)利用電子束感生電流進行成像,可以用來進行集成電路中的定位和損傷研究。
2)利用樣品電流成像,結果可顯示電路中金屬層的開、短路,因此電阻襯度像經常用來檢查金屬布線層、多晶連線層、金屬到硅的測試圖形和薄膜電阻的導電形式。
3)利用二次電子電位反差像,反映了樣品表面的電位,從它上面可以看出樣品表面[詳細]
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