Park Systems推出NX-3DM全自動原子力顯微鏡系統，專為垂懸輪廓、高分辨率側壁成像和臨界角的測量而設計。借助XY軸和Z軸立掃描系統和傾斜式Z軸掃描器，NX-3DM成功克服精確側壁分析中的法向和喇叭形頭所帶來的挑戰。在True Non-Contact?模式下，XE-3DM可實現帶有高長寬比尖端的柔軟光刻膠的無損測量。

       納米測量的精確性和高通量需要搭配高成本效益的解決方案，才能夠從研究領域擴展到實際生產應用中。面對這一成本挑戰，Park Systems帶來了工業級的原子力顯微鏡解決方案，讓自動化測量更快、更高效，讓探針更耐久！我們放棄了慢速又昂貴的掃描電子顯微鏡，轉而采用高效、自動化且價格實惠的3D原子力顯微鏡，進一步降低線上工業制造的測量成本。現如今，制造商需要3D信息來表現溝槽輪廓和側壁變形異特征，從而準確找到新設計中的缺陷。模塊化原子力顯微鏡平臺實現了快速的軟硬件更換，使得升級更為劃算，從而不斷優化復雜并且苛刻的生產質量控制測量。此外，我們的原子力顯微鏡探針使用壽命延長至少2倍，進一步減少購置成本。傳統的原子力顯微鏡采用輕敲式掃描，這讓探針更易磨損，而我們的True Non-Contact?模式能夠有效地保護探針，延長其使用壽命。

基本技術

主要功能

創新的3D測量方法

側切和外伸輪廓；臨界尺寸；側壁粗糙度測量

工業界低的噪音

靜電消除系統確保穩定的掃描環境

自動測量控制，提高效率

應用

臨界尺寸和側壁測量

A、光刻膠致密線紋的橫截面SEM圖像;B、三維AFM圖像;C、模板AFM輪廓線