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徠卡多功能離子減薄儀-Leica EM RES102

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產(chǎn)品特點(diǎn)

徠卡多功能例子減薄儀Leica EM RES102,通過離子槍激發(fā)獲得離子束,以一定入射角度對樣品進(jìn)行轟擊,以清除樣品表面原子,從而實(shí)現(xiàn)對樣品的離子束加工。
突出特點(diǎn):
? 對無機(jī)薄片樣品進(jìn)行離子減薄,適宜TEM透射電子顯微鏡觀察
? 對無機(jī)塊狀樣品進(jìn)行離子束拋光、離子束刻蝕,離子清洗及斜坡切割,便于SEM掃描電鏡觀察樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息

詳細(xì)介紹

徠卡多功能離子減薄儀-Leica EM RES102概述

Leica EM RES102 通過離子槍激發(fā)獲得離子束,以一定入射角度對樣品進(jìn)行轟擊,以清除樣品表面原子,從而實(shí)現(xiàn)對樣品的離子束加工。Leica EM RES102主要功能為:對無機(jī)薄片樣品進(jìn)行離子減薄,使得薄片樣品可被透射電子穿過,從而適宜TEM透射電子顯微鏡觀察;對無機(jī)塊狀樣品進(jìn)行離子束拋光、離子束刻蝕,樣品表面離子清洗及斜坡切割,便于SEM掃描電子顯微鏡觀察樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息。

徠卡三離子減薄儀-Leica EM RES102.jpg?

徠卡多功能離子減薄儀-Leica EM RES102性能

  • ? 優(yōu)異性價(jià)比:一臺(tái)設(shè)備即可為TEM、SEM、LM電鏡檢測提供試樣,多種應(yīng)用功能集于一體,gao效并節(jié)約成本

  • ? 安全:所有機(jī)械控制、樣品移動(dòng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化,可獲得重復(fù)性制樣結(jié)果

  • ? 分段冷卻:對溫度敏感樣品得到充分保護(hù),在優(yōu)化條件下進(jìn)行離子研磨,保持樣品的真實(shí)樣貌

  • ? 操作簡便:內(nèi)置應(yīng)用參數(shù)庫,幫助文件,無論是初學(xué)者還是后期維護(hù)都十分簡單


徠卡多功能離子減薄儀-Leica EM RES102技術(shù)參數(shù)


具有2把離子槍,離子束能量為0.8keV-10keV,相對位置,可分別±45°傾斜,樣品臺(tái)傾斜角度-120°至 210°,離子束加工角度0°至90°,樣品平面擺動(dòng)角度<360°,垂直擺動(dòng)距離±5mm。實(shí)際操作參數(shù)根據(jù)具體應(yīng)用需要選擇(系統(tǒng)備有參考參數(shù),也可自行設(shè)置參數(shù)并存儲(chǔ))
可選配樣品臺(tái):TEM樣品臺(tái)(Φ3.0mm或Φ2.3mm),F(xiàn)IB樣品清洗臺(tái),SEM樣品臺(tái),斜坡切割樣品臺(tái)(對樣品35°或90°斜坡切割)等
SEM樣品臺(tái)可容納樣品尺寸:直徑25mm,高度12mm
全無油真空系統(tǒng),樣品室?guī)в蓄A(yù)抽室,保證樣品交換時(shí)間<1分鐘
全電腦控制,觸摸屏操作界面,內(nèi)置視頻觀察系統(tǒng),可實(shí)時(shí)觀察樣品處理過程


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