多用途等離子處理腔室_TEM & SEM樣品清潔及貯存解決方案

通過選配外部附件如：EM-KLEEN遠程控制等離子源和/或TEM樣品桿適配器，多用途腔室可配置成不同的應用。EM-KLEEN遠程等離子體源可以采用空氣、氧氣或氫氣產生氧和氫自由基，用于樣品清潔和表面活化。如果腔室配備了TEM樣品桿適配器，則可接受和清潔來自Thermo Fisher、JEOL和Hitachi的共六個TEM樣品桿，然后它還可以用作樣品桿真空儲存站。當然，EM-KLEEN等離子源也可被取下并安裝到SEM、FIB或XPS等真空腔室上。

真空泵：采用無油分子泵工作站或渦卷泵