儀器簡介：

功能大的離子減薄儀器，徠卡RES102多功能離子減薄儀。Leica EM RES102 是一款獨特的離子束研磨設備，帶有兩個鞍形場離子源，離子束能量可調，以獲得**離子研磨結果。這一款獨立的桌面型設備集 TEM，SEM和LM樣品制備功能于一體，這與市面上其它設備截然不同。除了高能量離子研磨功能外，徠卡EM RES102還可用于低能量極溫和的離子束研磨過程。

功能介紹

.透射電鏡TEM樣品離子減薄

.掃描電鏡SEM樣品大面積平面離子拋光

.掃描電鏡SEM樣品離子刻蝕

.掃描電鏡SEM樣品截面切割

.聚焦離子束FIB樣品去除非晶損傷層

全馬達控制的雙離子槍和樣品臺

技術參數：

減薄角度可調由0至90
主機內置2級泵,確保高真空

加速電壓范圍：800V～10kV（100V步進）

最大離子電流：不小于4.5mA（單把離子槍）

離子槍傾斜角：±45度（精確到0.1度）

樣品臺傾斜角：-120度～210度（精確到0.1度）

.四級系統隔膜泵和渦輪分子泵

.真空度優于1×10-5mbar

.真空預抽室換樣時間少于1分鐘

主要特點：

減薄角度可調由0至90
一體化設計,重復性實驗設備,可靠具操作性
全電腦控制,精確的參數調整,運行中無需人干涉
鞍式離子槍,高能量-快速蝕刻
制冷系統,銅傳導,確保TEM,SEM在低溫下操作
主機內置2級泵,確保高真空
減少裝卸時間,GX率
操作簡便直觀,帶自保護防止離子溢出與過熱功能
法拉力環檢查樣品是否穿孔,自動終止功能
裝載閘保持系統高真空度穩定不變
減薄過程中離子能量高低可調
內置視頻監視器,直接觀察樣品減薄情況
可編程,觸摸屏設計,直觀操作