儀器簡介：

 德國Klocke Nanotechnik公司生產的納米級三維測量儀(3D Nanofinger)俗稱納米三坐標，是一種實用的納米精度坐標和形貌綜合測量設備。由臺架、控制系統、探頭、針尖組成. 可測量樣品外形尺寸，表面輪廓、粗糙度等，并可與超精密微加工、微組裝系統組合，進行在線檢測、質量控制等。系統擁有5個自由度，可以根據樣品設定測量路徑，測量范圍達到厘米級甚至更大?，F已廣泛應用于超精密機械加工、MEMS器件、半導體微電子加工、光學、分子生物學和精密工程。

技術參數：

設備主要參數：

測量范圍:
X = 10, 20 or 50 mm
Y = 10, 20 or 50 mm
Z = 10 or 20 mm
采用花崗巖基底，XY方向行程擴展為： 100 x 100 mm2 or 350 x 350 mm2

測量特性：
運動分辨率： 1 nm
針尖分辨率： 0.5 nm
水平與豎直方向均配有操縱傳感器
線形輪廓測量
樣品內部與外部輪廓測量
坐標測量功能


測量用探針:
針尖型金屬絲, 半徑 < 100 nm
鉤型金屬絲, 半徑< 100 nm
圓形針尖, 直徑 0.12-0.3 mm
金剛石針尖, 如用于表面壓痕


軟件：
針尖自動校準與逼近
2D 和 3D 圖形功能
分析軟件
自動化模塊選項（序列發生器）

可選擇的配置:
小型花崗巖平臺式3D-Nanofinger
便攜式3D-Nanofinger
3D-Nanofinger 模塊，如集成到CNC機床內部
適合電鏡中安裝的3D-Nanofinger 模塊
可安裝到多功能檢測工作臺中


附件:
納米精度自動旋轉平臺
攝像機
圖形識別系統

主要特點：

1.納米精度測量，而且是三維方向都可保持統一的精度。
2.測量量程跨越納米到厘米,甚至分米級。
3.多功能多參數測量設備，可以涵蓋三坐標、輪廓儀、形貌儀、粗糙度儀等的功能。
4.用戶可以設定測量路徑，這樣就能沿著樣品形狀進行測量。適合復雜輪廓測試。
5.配合多種不同功能的探針，可以完成一般輪廓儀無法進行的結構測量。特別是結構內部。
6.用戶可以根據需要靈活設置測量方法，可以進行大面積精確測量，也可以先進行大面積低精測量，然后對特定感興趣的區域進行高精測量，以節省時間。
7.整個過程非接觸的，間距可以保持在可以設定為幾個納米。適合各種固態樣品測量，對材料性質沒有特別要求和限制。
8.布局靈活，根據用戶測試要求組成合適的系統。平臺可以任意組合，探頭也以改變安裝方向。
9.如果和微加工設備組合，可以實現在線測量。