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Filmetrics F20 光學膜厚測量儀

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Filmetrics F20 光學膜厚測量儀


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性價比的先進薄膜厚度測量系統(tǒng)
使用 F20 高級頻譜反射測量系統(tǒng),我們能輕松的實現(xiàn)對膜層厚度和光學常數(shù)(n 和 k 值)的測量。通過對膜層頂部、底部反射光譜進行分析,數(shù)秒內(nèi)我們即可得到膜層的厚度、折射率和消光系數(shù)。
通過內(nèi)置的獨立軟件和 USB 接口,能夠很容易的把 F20 安裝在任何的 Windows 電腦平臺上。健全的軟件材料庫(100 多種材料),極大的滿足了對各種不同膜層結(jié)構(gòu)測量的需要,包括對單層、多層或獨立膜層的測量。透過測量樣品的光學常數(shù)或導(dǎo)入已存在的資訊,能夠在材料庫內(nèi)快速的增加新材料。
可測樣品膜層
基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜都可以測量。這包括幾乎所有的電介質(zhì)與半導(dǎo)體材料,例如:
氧化硅 氮化硅 類金剛石 DLC
光刻膠 聚合物 聚酰亞胺
多晶硅 非晶硅 硅



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