終級型大尺寸掩膜版生產工具：VPG1600

   新型Volume High Generator(VPG)大尺寸圖形發生器，是海德堡科技在大型光學系統上科技的創新與突破的里程碑。其利用獨 家ZG的技術“寬闊的平行化曝光制程技術”而開發出來的。

   VPG是目前掩膜板大尺寸，大批量生產的可靠而又經濟的解決方案，特別適用諸如：需要大量掩膜版的電子封裝產業，彩色濾光片產業，以及其它特別需要大面積，而且高分辨率需求相關產業。另外，VPG還可以提供優異的影像質量與注記差異（實際掩膜板與資料的差異）。

   VPG 設計有可以搭載多樣化不同尺寸的承載平臺，例如：1600mm*1400mm,1100mm*1100mm,800mm*800mm. 但這些系統都安裝有氣浮裝置，可配置半自動或者全自動的上下版裝置，并且可以選擇zui高輸出功率20W的UV激光發射頭。微細化的寫入步距，可以確保優越的粗糙度和連接邊界。平臺位置自動校正技術，可以進行優異的自我校正，以達到精 準的定位效果。