ZEISS的場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡全部采用新一代zhuan利鏡筒(GEMINI)設(shè)計(jì)，具有優(yōu)良的高、低加速電壓性能。創(chuàng)新的InLens設(shè)計(jì)是目前世界上wei一真正的內(nèi)置鏡筒電子束光路上二次電子探測(cè)器，具有zei佳的靈敏度和zei高的接收效率，而且只接收來(lái)自樣品表面的二次電子，因此具有業(yè)界zei高等級(jí)的分辨率和圖像質(zhì)量。二次電子探測(cè)器和背散射電子探測(cè)器均內(nèi)置于鏡筒電子束光路上，試樣的工作距離不受背散射探測(cè)器的影響，可以非常接近極靴，這樣可以同時(shí)獲得zei高的二次電子像分辨率和背散射電子像分辨率，且接收的背散射電子的能量可以控制。ZEISS的場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡創(chuàng)造性的采用電磁、靜電復(fù)合式物鏡，雜散磁場(chǎng)小，可對(duì)鐵磁體樣品進(jìn)行高分辨率成像。

【技術(shù)參數(shù)】

分辨率：1.0nm@ 15KV  

           1.9nm@ 1KV          

           2.0nm@ 30KV(VP mode)

放大倍數(shù)：12 - 1,000,000x

加速電壓：0.02 - 30 KV

探針電流：4 pA - 20 nA (12pA - 100 nA可選)

樣品室：   330 mm (φ) x 270 mm (h)

樣品臺(tái)：   5軸優(yōu)中心全自動(dòng)

                 X = 130mm

                 Y = 130 mm

                 Z = 50mm

                 T = -3 to 70°

                 R = 360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)

系統(tǒng)控制：基于Windows XP的SmartSEM操作系統(tǒng),可選鼠標(biāo)、鍵盤、控制面板控制