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感應(yīng)耦合等離子刻蝕機(jī) STS Multiplex ICP
- 品牌：STS
- 型號(hào)： Multiplex ICP
- 產(chǎn)地：歐洲 英國(guó)
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議
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上海邁鑄半導(dǎo)體科技有限公司
更新時(shí)間：2024-05-06 09:47:15 -
銷(xiāo)售范圍售全國(guó)
入駐年限第2年
營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類(lèi)產(chǎn)品刻蝕機(jī)(1件)
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詳細(xì)介紹
一、設(shè) 備 信 息 MACHINE INFORMATION
1、產(chǎn)品信息 Product Information: 6英寸 硅片 (MEMS Process)
2、設(shè)備重量 Unit Weight: 1200Kg
3、運(yùn)行數(shù)量 Run Number: Single wafer
4、腔體配置 Chamber Configuraton∶ 1X Chamber
5、設(shè)備尺寸 Machine Size: 詳見(jiàn)附件 《設(shè)備機(jī)械 圖紙》See Attachment
二、硬件配置 HARDWARE CONFIGURATION
1.MAIN body lea
2, Load lock lea
3, Turbo Pump lea
4, Controller BOX lea
5. RF Generater 2ea
6. Vaccum Pump 2ea
7, Chilller 2ea
8, Gas box 1ea
三、設(shè)備方面 EQUIPMENT
1.機(jī)臺(tái)正常起輝
2.背 He流量不大于 40SCCM
3.背 He漏率不大于 30mtor/min
4. 腔體背底壓力不大于 9*e - 5 Tor
5.刻蝕速度大于 5um/min
6.刻蝕片內(nèi)均一性小于+/-5%
7.選擇比 si: PR大于 100: 1；si: siO2大于 150:1
8.側(cè)壁角度 :91- 95°
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