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德國IPLAS 微波等離子化學氣相沉積系統CYRANNUS

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產品特點

德國IPLAS MPCVD CYRANNUS? 專 利技術微波等離子化學氣相沉積系統,廣泛應用于第四代半導體,射頻器件,散熱器件,光學窗口等高科技令域。晶圓生長金剛石膜,是第四代半導體材料。

詳細介紹


德國IPLAS  MPCVD CYRANNUS? 技術

第四代半導體,熱沉器件,光學窗口

00.png

Iplas公司與1997 年在德國科隆由Hildegard Sung-Spitzl博士及其丈夫Ralf Spitzl博士建立。兩位創世人在基礎物理和應用物理領域具有淵博的知識,并在等離子技術領域具有深厚的研究開發經驗。


Ralf Spitzl 博士至今已有逾三十多年的等離子物理研究經歷,Ralf Spitzl 博士于 1996 年發明了CYRANNUS?等離子源,并與 1998 年取得了CYRANNUS?的第 一個專 利。2003 年 Iplas 制造了16" CYRANNUS? I 等離子源,是世界上最 大的可在大氣壓下運行的商用等離子源,同年因其CYRANNUS? 技術的卓 越性能,iplas 和美國阿貢國家實驗室共同獲得 R&D100 獎項。今天 Iplas已經擁有等離子技術領域的 20 余項國際專 利。


金剛石在Ir/YSZ/Si上的異質外延


德國Audiaec公司采用的是德國IPLAS設備,目前德國Audiaec與DF公司合并了。


Augsburg Diamond Technology GmbH利用化學氣相沉積技術在外源襯底(異質外延)上合成單晶金剛石。同外延的普遍概念是需要適當尺寸的單晶金剛石作為種子,與此相反,我們的新方法采用多層體系Ir/YSZ/Si作為可擴展的襯底。 這一創新有助于S次在直徑達100毫米的圓盤上合成單晶金剛石。


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IR/ YSZ /SI

直徑為100mm的異質外延金剛石合成襯底:銥/釔穩定氧化鋯/硅,用于第四代半導體, 是第四代半導體材料。

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鉆石晶片獨立式單晶鉆石圓盤,直徑92毫米,重量155克拉

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產品

具有獨特尺寸的單晶鉆石

我們的鉆石已經成功地集成在各種高科技產品中,如超精 密加工的刀具,手術刀,固體鉆石球體,ATR棱鏡....

為實現您的特定產品,我們可以提供不同形狀,大小和晶體取向的單晶鉆石。4p Geo A, 4p Geo B, 2p類型1,2p類型2,種子晶體,特殊形狀,光學規格:尺寸a、b、c的標準公差:+0,25 / - 0,00mm(根據要求:+0,05 / - 0,00mm) 2p石頭:poli


創新科技培育鉆石是在一臺高新技術儀器中,模擬自然環境下天然鉆石生成所需的環境而生成的鉆石。培育鉆石是由優秀的科學家、專業的工程師及嫻熟的技術人員所創造,是人類科技智慧的結晶。


專家預言本世紀最  重要的發明將是會長大的鉆石,是半導體的材料。培育鉆石會取代硅在半導體的角色,研發第四代半導體,使人類科技進入另一世界,培育鉆石作為一種新貴資源也將成為人們追逐的熱點。



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