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日立 AFM5300E 環境型原子力顯微鏡

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AFM5300E是一款環境型原子力顯微鏡,它的環境控制單元可以使樣品在大氣中、真空中、溶液中等環境中進行測量。

AFM5300E還具有高低溫控制功能,可以檢測溫度對樣品表面形貌和物理特性的影響。


1. 環境控制功能(大氣,真空,液體,溫控等)

AFM5300E能夠實現高真空的測試環境,zui大限度減小樣品表面吸附水對測試的影響,實現精確的物理特性測量。 真空環境下可以實現更大范圍的溫度控制。


●大氣中 ●液體中 ●真空中 ●特殊氣氛(流量控制)
●溫度控制 加熱?冷卻(-120~300℃) 高溫(室溫~800℃)
●濕度控制(0~80%)

-

2. 簡便操作(綜合型Holder Flange)

通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』,樣品和掃描器更換更為方便的同時,免去了以往環境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調整。 也省去測試模式切換時的支架更換環節。

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3.優異的高性能

采用了『Swing Cancel功能』,減輕了樣品的浮動,降低了漂移。提高了納米分析性能,提升了可信度。

截屏2023-10-19 上午10.37.16.png

4. 通過減輕表面吸附水的影響,提高了電氣性能的檢測精度

真空環境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響,因而實現高分辨高靈敏的電學性能分析。

截屏2023-10-19 上午10.37.52.png

規格:

分辨率原子相
樣品尺寸20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度擴展至20 mm)
樣品移動范圍X-Y stage 5 mm
掃描范圍標準: 20 μm□/1.5 μmH
? 150 μm□/5 μmH
? 15 μm□/1.5 μmH(閉環差控制)
定位顯微鏡 ? 簡易顯微鏡(×200倍)
? 光學顯微鏡(×1000倍)
? 變焦顯微鏡(×700倍)
? 金相顯微鏡(裝有微分干渉)(×2000倍)
檢測功能
  • AFM(接觸模式)

  • DFM(輕敲模式)

  • PM(相位)

  • FFM(摩擦)

  • MFM(磁力)

  • SIS模式

  • LM-FFM(橫向摩擦)

  • VE-AFM/DFM(粘彈性)

  • Adhesion(吸附力)

  • CURRENT(電流)

  • SSRM(擴展抵抗)

  • SNDM(非線性介電常數)

  • PRM(壓電響應)、KFM(表面電位)

  • 液體中AFM/DFM

  • EC-AFM/STM

  • NanoIndentation(硬度)

  • Nano-TA(微區加熱)

選配件高溫加熱樣品臺
加熱冷卻兼用樣品臺
冷卻真空
溫度控制






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