空氣軸承系統(tǒng)——ALIO納米級高精度運動系統(tǒng)

空氣軸承系統(tǒng)產(chǎn)品描述：

ALIO Industries推出了6-D Nano Positioning?空氣軸承運動系統(tǒng)，6-D指運動的6個維度；線性，直線度，平面度，俯仰，偏航和滾動。Nano Precision 指的是在 +/- 450 nm 水平或以下的性能證明文件。6-D Nano Precision? 是指在納米級精度下運動的身體的所有 6 個自由度的性能證明文件?？諝廨S承系統(tǒng)適用于制造、檢測/維修和計量等各種應用領(lǐng)域。ALIO Industries空氣軸承運動系統(tǒng)，是一種用氣浮導軌或空氣軸承做支撐的精密運動裝置，適用于下一代TRUE NANO?精密應用?？諝廨S承系統(tǒng)提供出色的定位性能，適用于高精度要求的應用?？諝廨S承系統(tǒng)適用于多個行業(yè)，包括光伏、半導體、噴墨沉積、光刻和光學檢測等領(lǐng)域。

空氣軸承系統(tǒng)產(chǎn)品特點：

• 零摩擦和無振動的平滑移動

• 速度穩(wěn)定超高精度的移動
  

• 運動不產(chǎn)生顆粒，適用于無塵環(huán)境

• 軸承損耗低，表面不易損壞
  

定制二維平面 XY 空氣軸承系統(tǒng)

由于兩個軸都使用相同的高精度花崗巖底座作為參考，因此可以在數(shù)百毫米（甚至米）的行程范圍內(nèi)實現(xiàn)僅一微米的平面度。

這種高剛性平面 xy 空氣軸承運動系統(tǒng)系列提供亞微米精度和 +/- 100 納米雙向可重復性，即使在批量機器的批量生產(chǎn)中也是如此生產(chǎn)。憑借 200 毫米至 800 毫米的標準版本，以及可定制超過 3 米的 X 和 Y 行程，該產(chǎn)品系列在任何類型的測量/計量應用和半導體行業(yè)中都具有True Nano?精度。

強大的線性直接驅(qū)動器和空氣軸承使這些運動系統(tǒng)非常適合高精度、高吞吐量的應用，這些應用需要平滑的連續(xù)掃描或非常長距離的快速步進和穩(wěn)定過程。

定制空氣軸承平衡式Z軸位移臺（垂直位移臺）

ALIO 的直線電機驅(qū)動、帶空氣軸承平衡的垂直 Z 升降平臺系列的特點是外形低矮且行程極長。使用高精度交叉滾子軸承和線性編碼器，平臺配備無摩擦空氣軸承氣缸。與 GeoSymmetric 系列平臺類似，這些長行程 Z 平臺具有配重、電機、軸承和編碼器，所有這些都放置在平臺的大致中心線上。有效負載可以直接安裝到舞臺的表面。

Z-ABCB 系列——配備無摩擦空氣軸承氣缸平衡裝置——可在 200 毫米或以上承載高達 25 公斤的有效載荷。

定制空氣軸承旋轉(zhuǎn)臺

當需要很高的旋轉(zhuǎn)精度時，制造商可以從 ALIO 的空氣軸承旋轉(zhuǎn)平臺系列中進行選擇?？諝廨S承允許載物臺在沒有機械接觸的情況下移動，因此移動無摩擦且無磨損。即使在高速或旋轉(zhuǎn)平臺垂直安裝時，擺動、偏心或跳動等誤差也盡可能消除，以接近完 美、平滑的 360 度運動。

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