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OPTM 半導體膜厚測試儀
- 品牌:日本大塚
- 型號/貨號: optm/optm
- 產地:亞洲 日本
- 供應商報價:面議
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北京先鋒泰坦科技有限公司
更新時間:2025-07-16 14:59:03
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銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業執照已審核
- 同類產品反射式膜厚儀(5件)
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產品特點
- 測量目標膜的JD反射率,實現高精度膜厚和光學常數測試! (分光干渉法)
詳細介紹
- 特長 Features· 膜厚測量中必要的功能集中于頭部· 通過顯微分光高精度測量JD反射率(多層膜厚、光學常數)· 1點只需不到1秒的高速tact· 實現了顯微下廣測量波長范圍的光學系(紫外~近紅外)· 通過區域傳感器控制的安全構造· 搭載可私人定制測量順序的強大功能· 即便是沒有經驗的人也可輕松解析光學常數· 各種私人定制對應(固定平臺,有嵌入式測試頭式樣)
測量項目 Measurement item· JD反射率測量· 膜厚解析· 光學常數解析(n:折射率、k:消光系數)※ 上述式樣是帶有自動XY平臺。
構成圖半導體膜厚測試儀OPTM 式樣Specifications
※ release 時期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3預定2016年9月。* 膜厚范圍是SiO2換算。 技術資料