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IXY 系列雙軸高精密運動平臺
- 品牌：筱曉光子
- 型號/貨號： IXY100-PAA-CMS/E80100007
- 產(chǎn)地：上海 黃浦區(qū)
- 供應(yīng)商報價：面議
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筱曉（上海）光子技術(shù)有限公司
更新時間：2025-07-17 18:16:19 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品位移臺/掃描臺/旋轉(zhuǎn)臺(10件)
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產(chǎn)品特點
- IXY100: 行程100X100 光柵尺類型-P: Invar Based Scale 編碼器輸出AA: Sin/Cos 電纜輸出-CMS: With CMS Box
詳細介紹
總覽ZY的高精密運動臺設(shè)計: IXY系列高精密運動平臺優(yōu)化了高剛性和高動態(tài)性能設(shè)計，滿足ZG動態(tài)性能要求的各種應(yīng)用，是適用于光學(xué)、生化、電子制造等領(lǐng)域的理想的雙軸高精密運動系統(tǒng)。
ZY的精度和穩(wěn)定的性能: IXY系列運動平臺具有高精度和高運動性能等特點。瑞熒公司基于高精度機械和運動控制相結(jié)合的先進整體系統(tǒng)設(shè)計，生產(chǎn)出高精度和高性能的單軸、雙軸、多軸高精密運動平臺。
通用參數(shù)產(chǎn)品特點
結(jié)構(gòu)精巧的雙軸高精密運動平臺
雙電機可實現(xiàn)高產(chǎn)量
高剛性，良好的兼容性
導(dǎo)向精度高，JZ定位
產(chǎn)品應(yīng)用
二維激光加工
激光直寫
光學(xué)測量
自動顯微鏡
技術(shù)參數(shù)
IXY100
IXY200
行程
100mm
200mm
精度
-P: 1.0μm
-C: 1.5μm
-P: 1.5μm
-C: 2.0μm
重復(fù)定位精度(3σ)
-P: 0.3μm
-C: 0.6μm
-P: 0.5μm
-C: 0.8μm
運動分辨率 *1
AA: 10nm
DS: 200nm
AA: 10nm
DS: 200nm
ZD速度 *2
200mm/s
300mm/s
ZD加速度 *2
0.5g
0.5g
水平方向直線度
1.5μm
3μm
垂直方向直線度
2μm
4μm
偏航角
15μrad
30μrad
俯仰角
50μrad
100μrad
裝載質(zhì)量 *3
10kg
20kg
*1 針對不同的控制器、驅(qū)動器、環(huán)境振動和結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)設(shè)計可實現(xiàn)不同的運動分辨率，歡迎垂詢。
*2 針對不同承載重量、控制器、驅(qū)動器的系統(tǒng)設(shè)計可實現(xiàn)不同的速度和加速度，歡迎垂詢。
*3 歡迎與瑞熒公司工程師團隊交流具體裝載質(zhì)量等參數(shù)要求，優(yōu)化高精密運動平臺設(shè)計。
訂購信息
型號示例：
IXY100/IXY200 – PAA – CMS
型號說明:
系列
行程
光柵尺類型
編碼器輸出
電纜輸出
IXY
100: 100X100
-P: Invar Based Scale
AA: Sin/Cos
-CMS: With CMS Box
200: 200X200
-C: Gold Tape Scale
DS: 100nm A/B/Z
-C01: 1m Cable
DC: Customize
-C03: 3m Cable
控制系統(tǒng)：
1、根據(jù)精密運動平臺參數(shù)和應(yīng)用要求，提供不同的控制系統(tǒng)方案。
2、精密運動臺端口和電機參數(shù)兼容常見運動控制卡及驅(qū)動器。
尺寸圖
系列 S
A
H
M
IXY100
100
255
102
150
IXY200
200
365
102
200
單位 (unit in mm)
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號