分辨率

高真空：3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV)

電子槍

全自動，亦可手動調整

樣品臺

大全對中型X=80mm，Y=40mm，Z=5到48mm，傾斜：-10 - +90度，旋轉：360度

燈絲

工廠預對中燈絲（鎢）

圖像模式

二次電子像，成份像，拓撲像，陰影像

加速電壓

5-30KV

聚光鏡

可變焦聚光鏡

物鏡

超級錐形物鏡

物鏡光闌

3檔，X-Y可細調

電位移

±50微米

自動功能

聚焦，亮度，襯度，消像散

最大樣品

直徑：150mm

樣品交換

抽拉式樣品臺

真空系統

全自動擴散泵DP。分子泵TMP（選購）

操作系統

Windows XP

地線

獨立地線一條，小于等于100歐

溫度

20土5℃

濕度

小于等于60%

交流磁場

小于等于0.3μT（50/60Hz正玄波，WD：15mm，Acc.V：30KV）

地面振動

大于5Hz正玄波 小于等于2μm（P-P）

占地

2000（W）*2500（D）*1800（H）mm

重量

325Kg（JSM-6510） 435Kg（JSM-6510LV）

門寬

850mm以上