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安東帕納米劃痕儀NST3

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詳細(xì)介紹

市場上最精確的納米劃痕測試儀

主要特點(diǎn)

施加較小的載荷時(shí)具有極快的響應(yīng)時(shí)間

納米劃痕測試儀帶有載荷傳感器,采用雙懸臂梁用于施加載荷,以及壓電式驅(qū)動(dòng)器用于對(duì)施加的載荷快速響應(yīng)。這一設(shè)計(jì)理念還修正了在劃痕過程中發(fā)生的任何事件(例如出現(xiàn)裂紋和故障、缺陷或樣品不平整)而導(dǎo)致的測量結(jié)果偏差。

適用于彈性恢復(fù)研究的專利真實(shí)劃痕位移測量

在劃痕之前、過程和之后,位移傳感器 (Dz) 一直記錄樣品的表面的輪廓。這讓您可以在劃痕過程中或之后評(píng)估針尖的位移量,從而可以評(píng)估材料的彈性、塑性和粘彈性能(專利:US 6520004)

不打折扣:施加任何微牛級(jí)的載荷

閉環(huán)主動(dòng)力反饋系統(tǒng)可在 1 μN(yùn) 以下進(jìn)行更精確的納米劃痕測試。納米劃痕測試儀包含一個(gè) 傳感器測量載荷,可以直接反饋給法向載荷驅(qū)動(dòng)器。這確保施加的載荷就是用戶設(shè)置的載荷。

高質(zhì)量光學(xué)成像帶“跟蹤聚焦”功能

集成顯微鏡包括配置高質(zhì)量物鏡的轉(zhuǎn)塔和 USB 照相機(jī)。劃痕成像時(shí),能輕松將放大倍數(shù)從 x200 轉(zhuǎn)換為 x4000,實(shí)現(xiàn)在低放大倍數(shù)和高放大倍數(shù)自由切換從而更好地對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估。“跟蹤聚焦”功能可以進(jìn)行將多個(gè)劃痕的 Z 樣品臺(tái)自動(dòng)聚焦到正確位置。

劃痕后可用多次后掃描模式評(píng)估彈性性能

劃痕后,您可以在軟件中用時(shí)間增量定義無限次后掃描測量殘余位移。這種全新的分析方法將讓您進(jìn)一步了解表面變形性能與時(shí)間的依賴關(guān)系。


技術(shù)指標(biāo)

施加的載荷
分辨率0.01 μN(yùn)
最大載荷1000 mN
本底噪音0.1 [rms] [μN(yùn)]*
摩擦力
分辨率0.3 μN(yùn)
最大摩擦力1000 mN
位移
分辨率0.3 nm
最大位移600 μm
本底噪音1.5 [rms] [nm]*
速度
速度從 0.4 mm/min 到 600 mm/min

*理想實(shí)驗(yàn)室條件下規(guī)定的本底噪音值,并使用減震臺(tái)。



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