一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀 Auto SE——新型的全自動(dòng)薄膜測(cè)量分析工具。采用工業(yè)化設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)單，可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動(dòng)測(cè)量和分析，并輸出分析報(bào)告。是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

1主要特點(diǎn)

1. 液晶調(diào)制技術(shù)，無機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)部件，重復(fù)性，信噪比高

2. 技術(shù)成像系技術(shù)，所有樣品均可成像，對(duì)于透明樣品,自動(dòng)去除樣品的背反射信號(hào),使得數(shù)據(jù)分析更簡(jiǎn)單.

3. 反射式微光斑，覆蓋全譜段，利于非均勻樣品圖案化樣品測(cè)試

4. 全自動(dòng)集成度高，安裝維護(hù)簡(jiǎn)便

5. 一鍵式操作軟件，快速簡(jiǎn)單

6. 自動(dòng)MAPPING掃描，分析樣品鍍膜均勻性

2技術(shù)參數(shù)

1. 光譜范圍：450-1000 nm

2. 多種微光斑自動(dòng)選擇

3. 光斑可視技術(shù)，可觀測(cè)任何樣品表面

4. 自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

5. 70度角入射

6. CCD探測(cè)器

橢圓偏振光譜入門手冊(cè)——測(cè)量膜厚、光學(xué)常數(shù)的強(qiáng)大工具

您可了解：

1. 橢圓偏振光譜的概念及應(yīng)用領(lǐng)域

2. 適用的樣品及可獲取的信息

3. 常見的橢偏儀類型及優(yōu)勢(shì)分析

4. 測(cè)量、數(shù)據(jù)分析時(shí)的常見問題