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1700度高真空CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

品牌：河南諾巴迪
型號(hào)： NBD-T1700-80TIG2Z
產(chǎn)地：河南鄭州
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議

河南諾巴迪材料科技有限公司更新時(shí)間：2025-07-11 08:09:18

銷(xiāo)售范圍售全國(guó)

入駐年限第9年

營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核

同類(lèi)產(chǎn)品CVD系統(tǒng)(9件)

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詳細(xì)介紹

設(shè)備簡(jiǎn)介：

化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來(lái)沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)保科學(xué)等領(lǐng)域；

技術(shù)參數(shù)：

	系統(tǒng)描述
產(chǎn)品型號(hào)	NBD-T1700-80ITG3Z
工作溫度	≤1650℃
加熱區(qū)尺寸	310mm
恒溫區(qū)尺寸	220mm
升溫速率	≤20℃/min
電氣規(guī)格	AC 220V 4.5KW
溫區(qū)位置顯示	將設(shè)備溫區(qū)直接在設(shè)備殼體上顯示出來(lái)，便于客戶(hù)在合適的位置上放置樣品
控制系統(tǒng)
氣體系統(tǒng)（可根據(jù)需求搭配）	流量計(jì)類(lèi)型	浮子流量計(jì)				質(zhì)量流量計(jì)
	管道示意圖
	進(jìn)氣接口數(shù)量	2、3、4（多路可選）
	流量范圍	20-200/60-600l/min(多量程可選)				50/100/200sccm(多量程可選)
	工作壓差范圍	0-0.15MPa
低真空系統(tǒng)（可根據(jù)需求搭配）	真空泵型號(hào)		NBD-1.5C		NBD-3C		NBD-4C
	抽氣速率		1L/s		3L/s		4L/s
	進(jìn)排氣口尺寸		Φ8mm寶塔接頭		Φ8mm寶塔接頭		KF16/25
	極限壓力		1000Pa		100Pa		10Pa
	工作溫度		5-40℃
	電氣規(guī)格		AC220V
分子泵高真空系統(tǒng) （可根據(jù)需求搭配）	分子泵系統(tǒng)型號(hào)		NBD-103(A)		NBD-103(B)		NBD-103(C)
	抽氣速率		110L/s		600L/s		700L/s
	真空測(cè)量計(jì)		復(fù)合真空計(jì)
	極限壓力		10^-3Pa		10^-4Pa		10^-5Pa
	工作溫度			5-40℃
	電氣規(guī)格			AC 220V	AC 220V			AC 380V
* 支持非標(biāo)定做，更多型號(hào)，歡迎來(lái)電垂詢(xún)。

免責(zé)聲明：本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等），僅供參考。可能由于更新不及時(shí)，或許導(dǎo)致所述內(nèi)容與實(shí)際情況存在一定的差異，請(qǐng)與本公司客服人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，諾巴迪公司不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知。